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QRUI-1系列探針臺產品簡介：
QRUI-1系列探針臺是我司一款基于高校教育與實驗室而研發的基礎型晶圓測試探針臺。其結構緊湊 ，設計精密 ，價格實惠 ，在高等院校教學和小型實驗室科研過程中得到廣泛運用。配合對應的儀器儀表，可以用于測試各類器件的 IV/CV,PIV,光電信號等。也可以放置于手套箱內 ，配合特殊氣氛使用。一般適用于學校和工廠小型實驗室。
QRUI-1系列探針臺產品優勢：
1.探針臺與顯示器一體化設計 ，大大減小了設備的占地空間
2.具備自適應減震系統 ，一定程度上可防止外界震動的干擾
3.U 型平臺鍍鎳設計，不僅增大了針座的加載空間 ，還提高了針座平臺和針座之間的吸附力
詳細參數：
產品型號
技術參數 | QRUI-1-100 | QRUI-1-150 | QRUI-1-200 | QRUI-1-300 | |
探針臺 本體 | 電壓電流（可定制） | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) |
材料 | 航空鋁 | ||||
自適應減震系統 | 具備自適應減震系統 ， 一定程度上可防止外界震動的干擾 | ||||
卡盤大小 | 4 英寸 ，360 度轉動 ，可微調 | 6 英寸 ，360 度轉動 ，可微調 | 8 英寸 ，360 度轉動 ，可微調 | 12 英寸 ，360 度轉動 ，可微調 | |
卡盤行程和精度 | 4 英寸*4 英寸 ，精度 2um | 6 英寸*6 英寸 ，精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 2um | |
卡盤吸附方式 | 真空吸附 ， 可選擇環形吸附或者多孔吸附 (適用于薄片或者射頻器件) | ||||
背電極測試功能 | 具備 ，樣品臺電學獨立懸空 ，帶 4mm 香蕉頭插口 | ||||
針座平 臺 | 材質 | U 型平臺 ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4個探針座 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 | 最多可放置12個探針座 | |
顯示系 統 | 顯微鏡 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡 (注意視場) +CCD成像系統 | |||
倍率范圍 | 15X~200X/60X~420X | ||||
調焦范圍 | 50.8mm | ||||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉 ，帶2英寸高精度顯微鏡調焦機構 ，帶顯示器支架 | ||||
CCD 成像系統 | 200 萬/500萬像素 ，幀率 60fps ，帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||||
探針座 | 種類 | DMP-200/100/80/75 | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等 | ||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等 | |||
電力需求 | 220V/50HZ,10A | ||||
詳細配置方案可討論后給出
