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電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜。可蒸發(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設計、軟件自動操控、高性價比，非常適合實驗室科研使用。